Titánový naprašovací terčdoručenie zákazníkovi 13.12
Názov produktu Titánový okrúhly terč
Trieda Gr1 Gr2 Gr3 Gr5 (Ti6al4v)
Štandardný titánový terč: technické podmienky: v súlade s ASTM B34897
Terč z titánovej platne: technické podmienky: v súlade s ASTM B265-93
Špecifikácia: bežná špecifikácia: 60/65/95/100 * 30/32/40/45 mm
Doskový terč: (8-25mm * (150-300) mm * (1000-2500) mm
Rúrkový terč: 70 mm * 7 mm/10 mm
Povrchové leštenie môže byť závitové
Vlastnosti: Ľahká, vynikajúca odolnosť proti korózii, odolnosť proti korózii, vysoká pevnosť, dobrá tepelná odolnosť, dobrá ťažnosť, netoxická, nemagnetická, vynikajúca mechanická pevnosť atď.
Stav Žíhanie (M) Pracovný stav za tepla (R) Pracovný stav za studena (Y) (žíhanie, detekcia defektov ultrazvukom)
Aplikácie: Používa sa v zariadeniach na separáciu polovodičov, plochých panelových displejoch, filmoch akumulačných elektród, naprašovacích náteroch, povrchových náteroch obrobkov, v priemysle poťahovania skla
Čistota je jedným z hlavných ukazovateľov výkonu titánových terčov, pretože čistota terča má veľký vplyv na výkon filmu. V praktických aplikáciách sú však aj požiadavky na čistotu terča odlišné. Veľkosť kremíkových čipov sa teraz pohybuje od 6 palcov do 8 palcov až 12 palcov a šírky vodičov sa zmenšili z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um alebo dokonca 0.13 um, vďaka rýchlemu pokroku mikroelektronického priemyslu. Predtým 99,995 percent cieľovej čistoty spĺňalo procesné požiadavky 0,35 um IC, zatiaľ čo 99,999 percent alebo dokonca 99,9999 percent cieľovej čistoty sa vyžaduje na prípravu 0,18 um liniek .
Primárnymi zdrojmi znečistenia pre deponované filmy sú nečistoty v cieľovej pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch. Rôzne cieľové materiály majú rôzne požiadavky na rôzny obsah nečistôt. Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a obsah rádioaktívnych prvkov.
Typicky sa vyžaduje, aby terč mal vysokú hustotu, aby sa znížila pórovitosť v pevnej látke terča a zlepšila sa výkonnosť naprašovaného filmu. Elektrické a optické charakteristiky filmu sú okrem rýchlosti rozprašovania ovplyvnené aj cieľovou hustotou. Fólia funguje tým lepšie, čím väčšia je cieľová hustota. Okrem toho môže terč lepšie prežiť tepelné namáhanie počas procesu naprašovania tým, že sa stane hustejším a silnejším. Hustota je tiež jedným z kľúčových ukazovateľov výkonnosti cieľa.
