1. Čistota
Čistota naprašovacieho terča by mala byť aspoň 99,95 percenta. Čím vyššia je čistota, tým lepší je výkon naprašovaného filmu.
2. Hustota
Relatívna hustota naprašovacieho terča by mala byť viac ako 98 percent. Terč s vyššou hustotou môže znížiť rozstrekovanie častíc filmu počas procesu poťahovania, čím sa zlepší kvalita filmu.
3. Štruktúra zrna
molybdén naprašovací terč je polykryštalická štruktúra. Počas naprašovania sa atómy terča ľahko rozprašujú v smere najbližšie usporiadaného šesťuholníkového atómu. Aby sa dosiahla maximálna rýchlosť naprašovania, je potrebné zvýšiť rýchlosť naprašovania zmenou kryštálovej štruktúry terča.
4. Veľkosť zrna
Veľkosť zrna sa môže pohybovať od mikrónov po milimetre. Rýchlosť rozprašovania terča s jemným zrnom je rýchlejšia ako u terča s hrubým zrnom a distribúcia hrúbky naneseného filmu je pre terč relatívne rovnomerná s malým rozdielom vo veľkosti zrna.
5. Viazanie terča a podvozku
Pred naprašovaním by mal byť terč pripojený k medenému šasi bez obsahu kyslíka, aby sa zabezpečila dobrá tepelná vodivosť medzi terčom a šasi. Po naviazaní sa vykoná ultrazvuková kontrola, aby sa zabezpečilo, že neviazaná plocha dvoch je menšia ako 2 percentá, aby sa splnili požiadavky na vysokovýkonné naprašovanie.
